纯水设备典型工艺：
预处理－反渗透－中间水箱－水泵－EDI装置－纯水箱－纯水泵－紫外线杀菌器－0.2或0.5μm精密过滤器－用水对象（≥15MΩ.CM）(工艺)
预处理系统－反渗透系统－中间水箱－纯水泵－粗混合床－精混合床－紫外线杀菌器－精密过滤器－用水对象 （≥15MΩ.CM）(传统工艺)
预处理系统－反渗透系统－中间水箱－粗混合床－精混合床－纯水箱－纯水泵－紫外线杀菌器－抛光混床－精密过滤器－用水对象 （≥18MΩ.CM）(传统工艺)
预处理－反渗透－中间水箱－水泵－EDI装置－纯化水箱－纯水泵－紫外线杀菌器－抛光混床－0.2或0.5μm精密过滤器－用水对象（≥18MΩ.CM）(工艺)
预处理－一级反渗透－加药机（PH调节）－中间水箱－第二级反渗透（正电荷反渗膜）－纯水箱－纯水泵－EDI装置－紫外线杀菌器－0.2或0.5μm精密过滤器－用水对象（≥17MΩ.CM）(工艺)
EDI装置现已应用在半导体、电厂、电子、制药、实验室等领域制备高纯水； 阴阳离子及混床离子交换水处理设备是利用阴阳离子树脂与水中溶解性盐类离子进行离子交换的水处理技术；根据最终去除水中阴阳离子及混床离子交换除盐水系统的交换特性，可将系统分为：单床式离子交换除盐系统、双床式离子交换除盐系统和混床式离子交换除盐系统。RO、 EDI、树脂离子交换是当今制备纯水的必选工艺设备。其中RO反渗透是当今一项最实用的膜分离技术，是依靠反渗透膜在压力下使溶液中的溶剂与溶质进行分离的过程。可有效地去除水中的重金属离子、盐类、细菌等，去除率达到98%以上； EDI连续电除盐设备Continuous Electro deionization（电解式连续去离子）为模块式设备，可根据需要任意组合，该系统不需要停机再生，无需酸碱，因此废水排放问题也得到解决，更符合环保要求。可将水的电阻值由0.05-0.1MΩ/cm提升至15-18MΩ/cm。